真空泵的作用是對真空系統(tǒng)(器件)進(jìn)行抽氣從而達(dá)到一定的真空泵(或者壓力)。
那么真空度究竟有多高是多少呢?就需要用到各種真空度的測量儀器了,即真空計。
需要說明的是真空度測量是對低于大氣壓的氣體作全壓的測量,所以真空計是測量真空系統(tǒng)中低于大氣壓的所有氣體總壓的儀器。如果要測某種氣體的分壓力,則需要四級質(zhì)譜計那樣的分圧計來測量。
真空計包括兩部分組成:真空規(guī)管和控制線路。
真空計的分類如下:
按工作原理可分為絕對真空計和相對真空計。
常見的真空計有:真空壓力表(布爾登規(guī)) 10*5~100pa
壓阻式真空計 10*5~10pa
石英真空計 10*5~10pa
U型管真空計 10*5~10pa(水銀) 10*5~1pa(油)
壓縮真空計 電阻真空計(皮拉尼真空計) 熱偶真空計
熱(冷)陰極電離真空計 B-A電離真空計 克努曾真空計