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羅茨螺桿真空泵機(jī)組真空度怎么測量(真空度測量儀器有哪些)
作者:牛成    發(fā)布于:2020-10-19 09:03:00    文字:【】【】【
摘要:真空系統(tǒng)或真空泵的真空度究竟有多高是多少呢?就需要用到各種真空度的測量儀器來測量了

      真空泵的作用是對真空系統(tǒng)(器件)進(jìn)行抽氣從而達(dá)到一定的真空泵(或者壓力)。

      那么真空度究竟有多高是多少呢?就需要用到各種真空度的測量儀器了,即真空計。

      需要說明的是真空度測量是對低于大氣壓的氣體作全壓的測量,所以真空計是測量真空系統(tǒng)中低于大氣壓的所有氣體總壓的儀器。如果要測某種氣體的分壓力,則需要四級質(zhì)譜計那樣的分圧計來測量。

     真空計包括兩部分組成:真空規(guī)管和控制線路。

     真空計的分類如下:

     按工作原理可分為絕對真空計和相對真空計。


常見的真空計有:真空壓力表(布爾登規(guī))        10*5~100pa            

                          壓阻式真空計                        10*5~10pa

                          石英真空計                           10*5~10pa

                          U型管真空計                         10*5~10pa(水銀)     10*5~1pa(油)

                          壓縮真空計                            電阻真空計(皮拉尼真空計)         熱偶真空計

                          熱(冷)陰極電離真空計          B-A電離真空計                            克努曾真空計

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